赤霄-瞬态热阻测试仪
CHIXIAO-TRANSIENT THERMAL TESTER

CX-30A10V4P

符合JESD 51-1、JESD 51-14标准,可输出结构函数,用于DIODE、IGBT、MOSFET、HEMT、GTO、功率IC等多种类型功率器件及其模组的瞬态热测试、热结构分析。

全球领先的瞬态热测试技术

超高精度:温度(Tj)分辨率0.01℃,1MHz变频采样;

技术领先:第三代瞬态热测试技术,可输出结构函数进行热结构分析;

行业领先:具备4路高速高精度采集模块,采样速度,精度均达到行业顶尖水平;

架构领先:采用B/S架构控制系统、可远程对设备进行状态监控和控制,实现智能化;

瞬态监测:连续采集加热和冷却区的结温变化,同步采集温度监控点数据;

NPS技术:同步采集温度监控点(NTC/PTC)和结温数据,形成数据关系矩阵。

主要功能与参数

型号 CX-30A10V4P
测试模式 DIODE模式   SAT模式   IGBT模式   RDSON模式   HEMT模式
对应器件 DIODE、MOSFET、IGBT/IGCT、HEMT、GTO、IC
标准 符合JESD51-1、JESD51-14、IEC 60747-8、IEC 60747-9、IEC 60747-15、IEC 60749-23、IEC 60749-34、AEC-Q101、AQG 324等相关标准要求
门控电源参数 数量 4
输出方式 隔离输出
输出范围 -10V ~ 20V
输出误差 ≤0.1V + 0.5%set
分辨率 0.01V
NTC/PTC数据同步采集 NTC测量范围 250kΩ 〜 100Ω
PTC测量范围 100Ω 〜 250kΩ
最高采样频率 1MHZ
同步时间误差 ≤1μs
栅极漏电流测量 测量范围 1nA ~ 850nA 850nA ~ 1mA
分辨率 0.01nA 0.01uA
加热电源参数 规格型号 30A / 10V
电流输出误差 ≤0.05A + 0.1%set
电流设定分辨率 0.01A
开关速度 1μs
测温电流源(主) ±0.1A ~ ±1A / 10V
分辨率 1mA
误差 ≤2mA + 0.5%set
测温电流源(辅) 0 ~ 100mA / 10V
分辨率 0.01mA
误差 0~10mA ≤50μA + 0.5%set
10 ~ 100mA ≤0.5mA + 0.5%set
测量通道 数量 4
动态电压测量 测量范围 ±5V(差分模式)
测量误差 ≤1mV + 0.5%set
动态量程 100mV、200mV、400mV、800mV
动态分辨率 1.6μV
采样频率 最高1MHz
采样模式 连续变频采样

温度系数标定

温控设备参数 支持所有采样通道同时标定
冷媒 硅油
温度范围 -35℃ ~ 180℃
温度误差 ≤0.1℃
显示分辨率 0.01℃
标定控制 自动温度稳定判断
自动样品电压稳定判断
支持迟滞消除
支持用户设定标定点数
历史数据保存 记录并保存标定过程数据 设定温度VS时间
实际温度VS时间
样品电压VS时间
NTC/PTC电阻VS时间
全过程记录K系数标定,保证数据可追溯
输出结果 K系数标定数据(电压VS温度)
NTC/PTC标定数据(电阻VS温度)
支持多种数据拟合方式(线性/2次/3次多项式等)
显示数据拟合度(R2值)
支持多个K系数曲线对比

瞬态热测试

瞬态热测试 加热过程实时瞬态测试实时显示结果 电源打开稳定时间 10ms ~ 50ms(与选配的外部电源型号相关)
连续加热时间(连续采样时间) 0.1s ~ 96h
降温过程实时瞬态测试实时显示结果 电源关断时间 ≤1μs
测试电压下降稳定时间 10μs (与被测样品的寄生电容电感参数相关)
平方根数据修正推算结温
连续冷却时间(连续采样时间) 0.1s ~ 96h

数据处理与输出

数据处理与输出 升温过程原始数据点 ADC vs 时间曲线
电压 vs 时间曲线
降温过程原始数据点 ADC vs 时间曲线
电压 vs 时间曲线
温度 vs 时间曲线
瞬态响应数据 温度响应曲线
Zth曲线
时间常数谱
结构函数(积分、微分)
热模型抽取
脉冲热阻
安全工作区
热模型抽取 降阶RthCth 模型
可指定模型阶数:3~16阶
可输出降阶模型的拟合Zth曲线,并与实测Zth进行曲线对比
脉冲热阻
安全工作区

器件结壳热阻测量

散热结构分析

Die-Attach热阻测量

DBC/AMB基本热特性测量

界面热阻测量与分析

PCB板级散热结构分析

散热器性能测量

TIM材料热导率测试

热缺陷检测

高精度热仿真

赤霄-功率循环老化设备
CHIXIAO-POWERCYCLE TESTER

CXPC-2000A10V4C

安全监控单元: 烟雾监控/报警   漏液监控/报警  设备内部温度监控/报警  设备外部温度监控/报警

设备运行状态监控/报警  系统状态塔灯  报警蜂鸣器

功率循环专用冷板

根据样品形态定制

可搭配 20x30cm 标准尺寸冷板

全球领先的集成热测试技术

符合 AQG 324 标准的车规级功率循环老化测试;

集成赤霄瞬态热阻测试仪的所有功能,可在功率循环过程中穿插瞬态热测试,对样品结构变化进行在线监控;

可定制电流驱动能力,可定制电流通道数量与采集通道数量;

专为大功率半导体器件打造的功率循环老化、瞬态热测试实验平台。

功率循环测试
加热通道 加热电源 500A x4(可定制)
每个电源通道搭配4个数据采集通道
功率脉冲 最小脉冲宽度 200ms
最大脉冲宽度 无限制
老化模式 恒定电流、恒定功率、恒定 Tj、恒定△Tj、恒定△Tc
主机与测试台分离式 每个电流通道独立工作,可独立设定老化条件,通道之间互不干扰,可分别启动、停止任意测试通道
16个数据采集位+4个NTC采集位
每个电源通道配4个用户自定义温度监控点(选配)
电学数据监控(每个周期采集) 老化电压(Vce/Vds/Vf)
老化电流
老化功率
器件失效判定 可设定多种样品失效判定条件 电压判定、电流判定、功率判定
Tj判定、△Tj判定、Zth判定
失效条件触发后提供报警、暂停老化
老化数据断点恢复,防止不可预知的上位机故障造成老化数据丢失
远程监控 采用B/S架构控制系统、可整合到用户自有设备管理网络系统中
可使用任意终端的浏览器通过网络访问设备,进行状态监控和设备控制
通过远程监控设备,能随时查看当前的测试setup 情况,测试工况(测试电流Ton和 Toff等),器件的循环次数,实时状态(导通压降,热阻等)以及其他测试相关参数(如冷却液流量,冷却液温度)信息
可远程查看样品故障信息(失效,短路,断路等)
远程监控中无任何渠道查看和收集任何客户信息
热学数据监控(每个周期采集) Tj、△Tj、Tc、Tref(用户自定义)
Zth
热结构变化监控(指定周期间隔) 设置合理的循环次数,间隔实施瞬态热测试并获得结构函数图谱,通过图谱对样品内部热结构的阶段性变化进行在线监控和分析

功率循环用水冷机参数

以下为参考配置,可根据具体情况定制;
类型 需求 备注
设备水冷机 制冷功率/KW/每组 25 ℃@20KW 指定温度下
加热功率/KW 10KW
介质温度范围/℃ 0-100
控温精度/℃ ±0.5
流量范围/L/min 1~20
流量精度/L/min ±0.2
冷却介质形式 去离子水/50%乙二醇水溶液
流体输出组数/组 2
水冷机冷却形式 水冷 风冷/水冷
冷却水能力 14℃@5bar 风冷水冷机无需填写
通讯 485
其他需求 如循环泵压力等

功率循环测试结果示例

老化测试

老化模式

PCsec   Pcmin   持续老化

老化策略

恒定Ic  恒定Tj  恒定P  恒定△Tc

产品热结构降级测试

产品封装可靠性测试

不良品筛选

出厂检测

瞬态热测试---涵盖赤霄热阻测试仪应用场景

功率循环(PCsec/PCmin)

产品热结构降级测试

产品封装可靠性测试

系统散热性能评估

封装材料评估

封装工艺优化

赤霄-激光芯片老化测试设备
CHIXIAO-LASER DIODE BURN-IN TEST EQUIPMENT

CXAG-30A32V16C256L

符合JESD51-1/51-14/51-5X标准,可对激光芯片进行热阻测试、老化测试、光功率监控,输出结构函数。

全球首台光电热一体检测设备

压接式大电流电极技术

传统的探针电极因为与样品之间是点接触方式,这会引发接触电阻过大,大电流时局部热点高温问题。本产品电极采用面接触方案很大程度降低了接触电阻,不仅可以有效增大驱动电流,同时也解决了局部热点高温对样品的损坏问题。

串联旁路控制技术

传统老化设备中一台电源串联多个样品进行测试时,任意样品出现失效将会导致整个供电电路无法正常工作。本产品引入的串联旁路技术可以自动将失效样品从串联电路中隔离,确保其他未失效样品的测试进程不受影响。

瞬态热测试技术

样品失效的很重要的一个原因是封装材料的热结构在热疲劳时发生老化降级。本产品引入符合JESD51-14标准的瞬态热测试功能,可以获得样品在老化过程中的热结构变化信息,对生产中的材料、工艺等关键参数进行热特性相关的定量分析,进而提高产品的热可靠性。

主要功能与参数

型号 30A32V16C256L
老化模式 持续老化、脉冲老化(功率循环)
老化策略 恒定电流
加热电源 30A/32Vx16通道(可定制)
DUT封装类型 COS(可根据样品形态定制夹具)
老化箱(老化通道) 数量 16
每个老化箱中最大放入16枚待测样品。所有样品独立控制,任意样品出现短路、断路的情况都不影响其他样品的老化进程。
系统在老化开始前对所有样品进行热测试,检查样品放置状态是否存在不良热接触,从而减少不良热接触对老化结果的影响。
光学数据监控(实时采集) 采集通道 256
采集方式 独立采集
采集数据 发光功率(Popt)
电学数据监控(每个周期采集) 采集通道 256
采集方式 老化箱内轮巡采集,老化箱之间独立采集
采集数据 老化电压(Vf)、老化电流、老化功率
热学数据监控(每个周期采集) 采集通道 256
采集方式 老化箱内轮巡采集,老化箱之间独立采集
采集数据 Tj、△Tj、Tc、Tref(用户自定义)、Zth
热结构变化监控(指定周期间隔) 指定周期间隔实施瞬态热测试从而获得结构函数图谱,通过图谱对样品内部热结构的阶段性变化进行在线监控,可以得到不同材料层、工艺层的热阻变化曲线,定量分析不同材料与工艺的老化速度。
器件失效判定 可设定多种样品失效判定条件 电学 电压判定、功率判定
热学 Tj判定、△Tj判定、Zth判定
光学 △Popt判定
失效触发后可选择暂停老化,或者自动隔离开失效样品后继续老化
老化数据断点恢复,防止不可预知的上位机故障造成老化数据丢失
远程监控 采用B/S架构控制系统、可整合到用户自有设备管理网络系统中
可使用任意终端的浏览器通过网络访问设备,进行状态监控和设备控制
通过远程监控设备,能随时查看当前的测试setup 情况,测试电流,测试时长,实时状态(导通压降,热阻,光功率等)以及其他测试相关参数(如冷却液流量,冷却液温度)信息
可远程查看样品故障信息(失效,短路,断路等)
远程监控中无任何渠道查看和收集任何客户信息

瞬态热测试---涵盖赤霄热阻测试仪应用场景

产品批量测试

结温VS光功率测量

持续老化测试

脉冲老化测试

实时光功率检测

产品可靠性测试

产品出厂筛选(bathtub curve)

赤霄-光电热联合测试仪
CHIXIAO-THERMAL OPTICAL COMBINED TESTER FOR LED

CXOPT-40A20V1C2P

符合JESD 51-1、JESD 51-14、JESD 51-5x标准,可对LED或LED模组进行光电热联合测试。

国内首台光电热联合测试仪

技术领先:将第三代瞬态热测试技术与光学采集相结合, 在考虑光功率情况下输出结构函数进行热结构分析;

灵活多样:可实现光电热测试与仅热测试状态切换;

瞬态监测:连续采集加热和冷却区的电压变化,同步采集温度监控点数据;

架构领先: 采用 B/S 架构控制系统, 可远程对设备进行状态监控和控制, 实现智能化;

主要功能与参数
型号 CXOPT-40A20V1C2P
测试样品 DIODE
对应样品 LED(或模组)
标准 符合JESD 51-1、JESD 51-14、JESD 51-5x标准
光学数据监控 辐射通量、光通量、色坐标、色温、峰值波长、饱和度等
热学数据监控 Tj、Rth、Φth、Zth
电学数据监控 Vf、Pele、Popt
积分球型号 Labsphere LFC-050(可定制)
积分球直径 50cm
光谱范围(光谱仪) 350~1050nm
波长精度 <0.5nm
光度范围 0.05~8900lm
色坐标精度 <0.001 x, y
积分球测试方法 2π/4π
2π 开口尺寸 15cm
积分球冷板尺寸 ≥80mmx80mm
制冷功率 ≥450W@25℃
积分球校准 自带
加热电源参数 规格型号 40A / 20V
电流输出误差 ≤0.05A + 0.1%set
电流设定分辨率 0.01A
开关速度 1μs
测温电流源(主) ±0.1A ~ 1A / 20V
分辨率 1mA
误差 ≤2mA + 0.5%set
测温电流源(辅) 0 ~ 100mA / 15V
分辨率 0.01mA
误差 0~10mA ≤50μA + 0.5%
10 ~ 100mA ≤0.5mA + 0.5%
测量通道 采样频率 最高1MHz
采样模式 连续变频采样
动态电压测量 测量范围 ±5V ±5V ~ ±20V
测量误差 ≤1mV + 0.5%set ≤5mV + 0.5%set
动态分辨率 最高1.6μV
动态量程 100mV、200mV、400mV、800mV

数据与曲线

LED光学参数测量

考虑光功率的热学参数测量

结温测量

结壳热阻测量

散热结构分析

热缺陷检测

材料热学特性测量

赤霄-温控装置

CXTC-W150

鲁欧智造自主研发的一款快速温度控制装置,常用于快速K系数标定及小功率器件瞬态热测试,具有升降温速度快、控温精度高、一键启动、全过程记录等优点。

主要功能与参数
基本温度参数 条件 水冷温度控制
温度控制范围 -20℃~150℃
温度控制误差 ≤0.5℃
升温时间(25℃到150℃) ≤7.30min
降温时间(150℃到25℃) ≤14min
降温时间(25℃到-20℃) ≤30min
工作环境 环境温度 -10℃~40℃
环境温度 30%~80%(不可在结露环境下使用)
主要功能与参数

温度系数(K系数)标定

快速精确控制冷板温度(适用于小功率范围)

赤霄-瞬态热阻测试仪(MINI版)
CHIXIAO-Transient Thermal Tester(MINI-Version)

CXMINI 10A5V1C1P

符合JESD 51-1、51-14、 IEC 60747-8、 IEC60747-9、IEC 60747-15、IEC60749-23、IEC 60747-34、 AEC-Q101、AQG324等相关标准要求。

1.便携性:实现设备小型化,便携性高,便于灵活使用;

2.性价比高:通过功能的精简优化,实现更低的采购价格;

3.设备性能:更适合1C以及小功率器件的瞬态热测试;

4.操作界面:界面操作简洁明了,可更快掌握测试流程,轻松上手使用设备。

全球领先的瞬态热测试技术

超高精度:温度(T)分辨率0.01℃,1MHz变频采样;

技术领先:第三代瞬态热测试技术,可输出结构函数进行热结构分析;

行业领先:具备1路高速高精度采集模块,采样速度,精度均达到行业顶尖水平;

架构领先:采用B/S架构控制系统、可远程对设备进行状态监控和控制,实现智能化;

瞬态监测:连续采集冷却区的结温变化;

主要功能与参数

型号 CX2MINI 10A/5V
测试模式 DIODE模式   IGBT模式   RDSON模式   HEMT模式
尺寸 350mm*234mm*189mm
重量 5600g
对应器件 DIODE、MOSFET、IGBT、HEMT、GTO、IC
标准 符合JESD51-1、JESD51-14、IEC 60747-8、IEC 60747-9、IEC 60747-15、IEC 60749-23、IEC 60749-34、AEC-Q101、AQG 324等相关标准要求
门控电源参数 数量 1
输出方式 隔离输出
输出范围 -10V ~ 20V
输出误差 ≤0.1V + 0.5%set
分辨率 0.01V
加热电源参数 规格型号 10A / 5V
电流输出误差 ≤0.005A + 0.5%set
电流设定分辨率 0.001A
开关速度 1μs
测温电流源 0 〜 100mA / 5V
分辨率 0.01mA
误差 0 〜 10mA ≤50uA + 0.5%set
10 〜 100mA ≤0.5mA + 0.5%set
测量通道 数量 1
动态电压测量 测量范围 ±5V(差分模式)
测量误差 ≤1mV + 0.5%set
动态量程 100mV、200mV、400mV、800mV
动态分辨率 1.6μV
采样频率 最高1MHz
采样模式 连续变频采样
温控设备 风冷TC(鲁欧),JULABO水冷机,恒温箱
标定控制 自动温度稳定判断
自动样品电压稳定判断
支持迟滞消除
支持用户设定标定点数